日立S-2500型扫描电子显微镜分辨率达3.5nm，放大率为20～200000倍，加速电压0.5～30Kv分53阶连续可调，样品尺寸最大可到200mm。2000年从英国牛津仪器公司购进的INCA Energy X射线能谱仪分辨率达133 eV，测量元素范围4Be-92U，最大计数率为5000cps。

扫描电子显微镜可用于各种材料表面微观形貌的观察与分析，包括材料的物相组成，气孔的含量及分布，晶体的生长发育、晶粒大小、晶界排列等情况，是一种十分有效的结构分析工具。配套设备包括真空离子溅射仪，喷碳附件，冷却循环水制冷机组等。能谱仪与扫描电镜联机使用，具有微区成分的定性分析，定量分析，元素的线扫描分析，面扫描分析及粉体材料的粒度统计分布等多项功能，对于进一步确定材料的性能及组成起到了至关重要的作用。